Участок химического газофазного осаждения. Расчёт выбросов ЗВ?

Участок химического газофазного осаждения. Расчёт выбросов ЗВ?
Количество просмотров - 2911 (ссылка на эту тему)

Offday

Участник форумов

Сейчас отсутствует

Сообщение #1 : 31 Марта 2015 года, 18:52
(ссылка на это сообщение)

Я не являюсь экологом по профессии. И вынужден временно заниматься не своими вопросами (хотя, возможно, теперь придется идти учиться)
Проектирую участок химического газофазного осаждения (полупроводниковая промышленность/нанесение тонких пленок) на уже существующем полупроводниковом производстве (построено также совсем недавно) . В процессе используются следующие газы: SiH4 (силан), N2O(оксид азота I), B2H6 (бороводород), PH3 (фосфин), C2F6 (хладон 116, гексафторэтан), H2 (водород). Эти газы участвуют в техпроцессе, который происходит в реакционной камере, после чего неотработанные газы из реактора высоковакуумным насосом подаются на скруббер. Согласно данным производителя скруббера, на выходе они гарантируют следующие показатели:

- B2H6 ≤ 0.1 ppm

- C2F6 ≤ 1 ppm (as HF)

- PH3 ≤ 0.1 ppm

- SiH4 ≤ 5 ppm

(H2, N2O) **

Я хотел бы определиться, что входит в сферу ответственности проектировщика и заказчика в моем случае. Да и в общем случае тоже.
Что должно быть сделано по выбросам на стадии проектирования. Какие необходимо изучить нормативные документы и что конкретно сделать в моей ситуации

До этого я сталкивался с ПДК (санитарными нормами). Вышеуказанные выбросы после скруббера - ниже соответсвующих нормированных среднесуточных значений ПДК.
Теперь мне необходимо определиться, как правильно оформить проект, чтобы не иметь в будущем проблем. (ПМООС, заказать проект ПДВ итд), определиться пошагово с порядком действий.

Заранее огромное спасибо за помощь

Инженер (Минск, Беларусь)

Павел-В

Куратор подраздела "Учёт электроэнергии"

Сейчас отсутствует

Сообщение #2 : 01 Апреля 2015 года, 06:58
(ссылка на это сообщение)

Вы должны рассчитать вентиляцию так, чтобы концентрация газов в помещении не превышала ПДК.

Если выбросы идут на улицу, то нужно считать, чтобы ПДК этих веществ в воздухе не был превышен.

? (Челябинск, Россия)

Offday

Участник форумов

Сейчас отсутствует

Сообщение #3 : 01 Апреля 2015 года, 12:23
(ссылка на это сообщение)

А если ПДК в пределах нормы.... Например при капитальном строительстве на стадии проектирования готовят ПМООС (и к нему часто проект ПДВ). А в моем случае, когда проектирование ведется дополнительного участка к уже существующему производству (к которому, скорее всего , имелся и ПМООС и ПДВ) и по данным производителя после газоочистных установок гарантируются значения остаточных выбросов, не превышающие ПДК. Должны ли быть разработаны какие-тот документы

Инженер (Минск, Беларусь)

Павел-В

Куратор подраздела "Учёт электроэнергии"

Сейчас отсутствует

Сообщение #4 : 01 Апреля 2015 года, 13:21
(ссылка на это сообщение)

Цитата: Offday от 01 Апреля 2015 года, 12:23

по данным производителя после газоочистных установок гарантируются значения остаточных выбросов, не превышающие ПДК.

У вас принципиальное непонимание вопроса. Выбрасываются граммы в секунду. Все выбрасываемые вещества накапливаются в объеме помещения. Если не обеспечить поступление свежего воздуха в количестве достаточном для разбавления, то ПДК рано или поздно будут превышены.
По Белоруссии ничего не скажу, но предполагаю, что при расширении здания нужно заказывать проектную документацию в полном объеме. Проконсультируйтесь с ГИП-ом проектного института на предмет того, как вашу стройку лучше обозвать и организовать.

? (Челябинск, Россия)

Offday

Участник форумов

Сейчас отсутствует

Сообщение #5 : 01 Апреля 2015 года, 13:40
(ссылка на это сообщение)

Я,наверно, неправильно выразился, извините. Приточно-вытяжные системы для производственных помещений разрабатываются в соответствии с нормами и в помещениях установлены газоанализаторы. Я имел ввиду именно выбросы в атмосферу после газоочистных: после прохождения цикла техпроцесса оставшаяся в реакторе смесь процессных газов (которую я указывал выше) откачивается форвакуумным насосом из реактора на скруббер (то есть пропускается через колонну с абсорбентом-катализатором), но на выходе из скруббера все-таки остаются некие следовые количества, которые попадают в атмосферу. Эти остаточные количества ниже значений ПДК (по ГН 2.1.6.1338-03). Например, для ПДВ концентрации на границе санитарной зоны должны не превышать ПДК, а внутри зоны они могут быть многократно больше. А мы выбрасываем концентрации заведомо ниже ПДК уже после скруббера, даже без учета рассеивания.

Инженер (Минск, Беларусь)

Юрик 123

Участник форумов

Сейчас отсутствует

Сообщение #6 : 10 Июля 2015 года, 10:30
(ссылка на это сообщение)

Добрый день, насколько мне известно наше предприятие попало в специализированную программу, которая как-то связаны с безопасностью окружающей среды . Удалось прочитать про инженерно-экологические изыскания, которые будут проводиться при этом, хотелось бы узнать, кто-нибудь ранее сталкивался с такими исследованиями и что можете сказать по этому поводу?

Менеджер (Москва, Россия)

Сергей Л. П.

Куратор подраздела "Технический надзор"

Сейчас отсутствует

Сообщение #7 : 11 Июля 2015 года, 14:52
(ссылка на это сообщение)

Цитата: Юрик 123 от 10 Июля 2015 года, 10:30

наше предприятие попало в специализированную программу, которая как-то связаны с безопасностью окружающей среды

Цитата: Юрик 123 от 10 Июля 2015 года, 10:30

что можете сказать по этому поводу?

Чтобы что-то сказать нужно название программы, описание что она из себя представляет (какие работы будут выполняться по этой программе) и кто её инициатор.

Инженерно-экологические изыскания для строительства выполняются при разработке следующих видов документации: прединвестиционной - концепций, программ, схем отраслевого и территориального развития, комплексного использования и охраны природных ресурсов, схем инженерной защиты, районных планировок и т.п.; градостроительной - генпланов городов (поселений), проектов детальной планировки, проектов застройки функциональных зон, кварталов и участков города; предпроектной - обоснований инвестиций в строительство объектов, промпредприятий и комплексов; проектной - проектов и рабочей документации для строительства предприятий, зданий и сооружений.
От типа разрабатываемой документации зависит состав и объем изысканий.

Проектировщик ( ? , Россия)

Страниц: [1] Вверх

ВЕРСИЯ ДЛЯ ПЕЧАТИ

www.proektant.org > ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ФОРУМ > Экология (Куратор: Wespe) >

Контактные данные\| Партнёрская программа \| Подробная статистика
Настройка форумов © «Проектант» \| Конфиденциальность данных Powered by SMF 1.1.23 \| SMF © 2017, Simple Machines